Сканирующий конфокальный микроскоп выполняет съемку по координатам X, Y, Z с заданным шагом и формирует стек изображений, из которого строится трехмерная модель. Это удобно, когда важно оценить не только внешний вид, но и геометрию: высотные перепады, форму рисок, пор, выступов, структуру слоев. В зависимости от конфигурации система может работать как конфокальный профилометр и измерять параметры микрорельефа на выбранном участке.
На практике конфокальная съемка помогает решать задачи контроля и исследований:
-
построение 3D карты поверхности и измерение профиля по любой линии сканирования
-
оценка высоты ступенек, глубины дефектов, ширины канавок и других элементов рельефа
-
сравнение участков до и после обработки, упрочнения, нанесения покрытия
-
фиксация результатов в виде отчетов с привязкой к координатам и настройкам съемки
Отдельный режим, который встречается в части систем, - интерферометрия. Он расширяет возможности по измерению микронеровностей и позволяет получать данные по шероховатости с очень высоким разрешением. При этом важно учитывать требования к объекту: чистота поверхности, отражающая способность, правильный подбор оптики и параметров сканирования напрямую влияют на стабильность результата.
После построения 3D модели данные анализируют в программном обеспечении. Обычно доступны инструменты для измерения профиля всей отсканированной поверхности, расчета параметров шероховатости, построения сечений, поиска локальных максимумов и минимумов, а также сравнения нескольких измерений между собой. Такой формат работы удобен для лабораторий и производственных участков, где нужно не просто посмотреть изображение, а получить измеряемые значения и сохранить их в едином виде для протоколов и дальнейшего контроля.
.png)